-
流量規(guī)格
0.5SCCM～20SLPM -
準(zhǔn)確度
±0.5~1.0%Rd -
工作壓力
5kPaA~2MPaA可選 -
介質(zhì)溫度
-50℃~110℃可選
產(chǎn)品規(guī)格
| 型號 | T100 | T300 | T450 | ||
| 流量規(guī)格 | 20SCCM～20SLPM | 0.5SCCM～20SLPM | 2SCCM～20SLPM | ||
| 準(zhǔn)確度 | ±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) | 1.0%Rd(20%～100%F.S.) 0.2%F.S.(0.5%～20%F.S.) | 0.5%Rd(20%～100%F.S.) 0.1%F.S.(0.5%～20%F.S.) | ||
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | 0.2%Rd(20%～100%F.S.) 0.04%F.S.(0.5%～20%F.S.) | 0.1%Rd(20%～100%F.S.) 0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.) | ||
| 壓力漂移 | ≤±0.1%F.S./100kPa 基準(zhǔn)壓力：100kPaA | ≤±0.1%Rd/100kPa 基準(zhǔn)壓力：100kPaA | |||
| 溫度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃ 基準(zhǔn)溫度：25℃ | ≤±0.02%F.S./℃ 基準(zhǔn)溫度：25℃ | |||
| 零點漂移 | ±0.2%F.S. | ±0.1%F.S. | |||
| 工作范圍 | 2%～100%F.S. | 1%～100%F.S. | 0.5%～100%F.S. | ||
| 響應(yīng)時間 | ≤100ms | ||||
| 啟動預(yù)熱時間 | ≤1s | ||||
| 介質(zhì)溫度范圍 | 0℃～50℃ | -20℃～60℃ | |||
| 環(huán)境溫度范圍 | 0℃～50℃ | -20℃～50℃ | |||
滿量程壓損 | 10kPa（≤5SLPM）；6kPa（10SLPM）；8kPa（20SLPM） | ||||
| 耐壓 | 1.5 MPaA | ||||
最大工作壓力 | 900kPaA | ||||
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m3/s He | ||||
| 供電電壓 | 24V±20% | ||||
| 安裝方式 | 無指定（任意角度） | ||||
| 氣路接口 | G螺紋、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接氣部材質(zhì) | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材質(zhì) | 橡膠圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、4～20mA / 0～5V | ||||
應(yīng)用場景
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分析儀器
半導(dǎo)體設(shè)備
生物處理系統(tǒng)
燃料電池組泄漏測試
反應(yīng)濺射
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下載手冊
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