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氣體質量流量計(MFM)

  • 流量規格

    0.5SCCM~5000SLPM
  • 準確度

    ±0.5~1.0%Rd
  • 工作壓力

    5kPaA~900kPaA可選
  • 續航時間

    可達15小時
氣體質量流量計(MFM)

產品規格

型號P300
P400P450
流量規格0.5SCCM~5000SLPM2SCCM~2000SLPM2SCCM~2000SLPM

準確度

±1.0%Rd(20%~100%F.S.);
±0.2%F.S.(1%~20%F.S.)

±1.0%Rd(10%~100%F.S.);
±0.1%F.S.(0.5%~10%F.S.)

±0.5%Rd(20%~100%F.S.);
±0.1%F.S.(0.5%~20%F.S.)

重復精度

±0.2%Rd(20%~100%F.S.);
 ±0.04%F.S.(0.5%~20%F.S.)

±0.1%Rd(20%~100%F.S.);
±0.02%F.S.(0.5%~20%F.S.)

壓力漂移

≤±0.1%Rd/100kPa(基準壓力100kPaA)

溫度漂移

≤±0.02%F.S./℃(基準溫度25℃)
零點漂移±0.1%F.S.
工作范圍
0.5%~100%F.S.
響應時間
≤100ms
啟動預熱時間
≤1s
介質溫度范圍-20℃~60℃
滿量程壓損

7kPa(≤20SLPM);9kPa(50~100SLPM);12kPa(200SLPM);
17kPa(500SLPM);20kPa( 1000SLPM);22kPa(1500~2500SLPM);35kPa(3000~5000SLPM)

耐壓1.5 MPaA
最大工作壓力900kPaA
續航能力15小時
安裝方式無指定(任意角度)
氣路接口G螺紋
接氣部材質SUS316L、氟橡膠
密封部材質橡膠圈密封:氟橡膠
通信方式RS485


氣體質量流量計(MFM)

應用場景

環境分析中的氣體測量/控制

流量校準對比裝置

分析/環保設備

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