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流量規格
0.5SCCM~20SLPM -
準確度
±0.5~1.0%S.P. -
工作壓力
5kPaA-2MPaA可選 -
介質溫度
-50℃~80℃可選
產品規格
| 型號 | TC100 | TC300 | TC450 | ||
| 流量規格 | 20SCCM～20SLPM | 0.5SCCM～20SLPM | 2SCCM～20SLPM | ||
準確度 | ±1.0%F.S. (2%～100% F.S.) | ±1.0%S.P.(20%～100%F.S.) | ±0.5%S.P.(20%～100%F.S.) | ||
| 重復精度 | ±0.2%F.S. | ±0.2%S.P.(20%～100%F.S.) | ±0.1%S.P.(20%～100%F.S.) ±0.02%F.S.(0.5%～20%F.S.) | ||
壓力漂移 | ≤±0.1%F.S./100kPa（基準壓力100kPaA) | ≤±0.1%S.P./100kPa（基準壓力100kPaA) | |||
溫度漂移 | ≤±0.05%F.S./℃（基準溫度25℃） | ≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃） | |||
| 零點漂移 | ±0.2%F.S. | ±0.1%F.S. | |||
| 工作范圍 | 2%～100%F.S. | 1%～100%F.S. | 0.5%～100%F.S. | ||
| 響應時間 | ≤800ms | ≤600ms | |||
| 啟動預熱時間 | ≤1s | ||||
| 介質溫度范圍 | 0℃～50℃ | -20℃～60℃ | |||
| 閥門類型 | N/C常閉 | ||||
| 耐壓 | 1.5 MPaA | ||||
| 最大工作壓力 | 900kPaA | ||||
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m3/s He | ||||
| 供電電壓 | 24VDC(±20%) | ||||
| 消耗電流 | <150mA（＜3.6W） | ||||
| 安裝方式 | 無指定（任意角度） | ||||
| 氣路接口 | G螺紋、VCR、卡套、IGS | ||||
| 接氣部材質 | SUS316L、FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 密封部材質 | 橡膠圈密封：FKM、FFKM、EPDM、Neoprene | ||||
| 通信方式 | RS485、4～20mA / 0～5V | ||||
應用場景
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半導體設備
生物處理系統
分析儀器
燃料電池組泄漏測試
反應濺射
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下載手冊
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