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流量規格
0.5SCCM～5000SLPM -
準確度
±0.5~1.0%S.P. -
工作壓力
5kPaA-2MPaA可選 -
介質溫度
-20℃~60℃
產品規格
| 型號 | SC100 | SC200 |
| 流量規格 | 0.5SCCM～5000SLPM | 0.5SCCM～2000SLPM |
準確度 | ±1.0%S.P.(20%~100%F.S.） | ±0.5%S.P.(20%~100%F.S.） ±0.1%F.S.(1%~20%F.S.） |
| 重復精度 | ±0.2%F.S. | ±0.1%F.S. |
壓力漂移 | Zero：≤±0.2%F.S./100KPa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa(基準壓力100KPaA) | Zero：≤±0.05%F.S./100KPa； Span：≤±0.05%F.S./100Kpa(100KPaA) |
溫度漂移 | Zero：≤±0.05%F.S./℃； Span：≤±0.05%F.S./℃（基準溫度25℃） | Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基準溫度25℃） |
| 工作范圍 | 1%～100%F.S. | |
| 響應時間 | ≤700ms | |
| 啟動預熱時間 | ≤1s | |
| 介質溫度范圍 | -20℃～60℃ | |
| 耐壓 | 1.5 MPaA | |
| 最小工作壓差 | 100~500kPa（≤250SLPM）; 200~500kPa（>250SLPM） | |
| 供電電壓 | 24VDC(±20%) | |
| 閥門類型 | N/C常閉型 | |
| 安裝方式 | 無指定（任意角度） | |
| 氣路接口 | G螺紋 | |
| 接氣部材質 | SUS316L | |
| 密封部材質 | 橡膠圈密封： 氟橡膠 | |
| 通信方式 | RS485, 0～5V, 4～20mA | |
應用場景
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高校研究所及實驗室
分析/環保設備
環境分析中的氣體測量
氣體泄漏檢測系統
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下載手冊
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